無塵凈化車間（CleanRoom）是專為控制空氣中微粒、溫度、濕度、壓力等參數(shù)而設(shè)計的特殊環(huán)境，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、精密電子、食品加工等領(lǐng)域。其核心設(shè)備組合決定了車間的凈化效果和運行效率。以下是主要設(shè)備及相關(guān)說明：
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一、空氣凈化與循環(huán)系統(tǒng)
1.高效/超高效過濾器（HEPA/ULPA）
-作用：過濾空氣中≥0.3μm的顆粒物，HEPA過濾效率≥99.97%，ULPA可達(dá)99.9995%以上。
-應(yīng)用：通常安裝在送風(fēng)末端或FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）中。
2.FFU（風(fēng)機(jī)過濾單元）
-內(nèi)置風(fēng)機(jī)和高效過濾器的模塊化設(shè)備，可靈活安裝在吊頂，實現(xiàn)局部高潔凈度。
3.新風(fēng)系統(tǒng)
-提供潔凈新風(fēng)并維持車間正壓，防止外部污染空氣滲入，需配套初效、中效過濾器。
4.回風(fēng)系統(tǒng)
-循環(huán)過濾室內(nèi)空氣，減少能耗，通常結(jié)合風(fēng)道設(shè)計使用。
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二、溫濕度與壓力控制設(shè)備
1.空調(diào)機(jī)組（AHU）
-調(diào)控溫濕度，過濾空氣，需集成冷熱源（如冷水機(jī)組、電加熱）和加濕/除濕系統(tǒng)。
2.正壓控制系統(tǒng)
-通過壓差傳感器和變頻風(fēng)機(jī)調(diào)節(jié)各區(qū)域壓差，確?？諝饬飨驈母邼崈魠^(qū)流向低潔凈區(qū)。
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三、潔凈室結(jié)構(gòu)與輔助設(shè)備
1.風(fēng)淋室
-人員/物料進(jìn)入潔凈區(qū)前的吹淋設(shè)備，去除表面顆粒，雙門互鎖設(shè)計防止污染。
2.傳遞窗
-帶紫外燈或高效過濾器的密閉窗口，用于跨潔凈級別區(qū)域傳遞物品。
3.潔凈工作臺/層流罩
-提供局部ISO5級（Class100）超凈環(huán)境，用于樣品處理等精密操作。
4.防靜電設(shè)備
-包括離子風(fēng)機(jī)、防靜電地板等，用于電子行業(yè)減少靜電吸附顆粒。
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四、監(jiān)測與控制系統(tǒng)
1.粒子計數(shù)器
-實時監(jiān)測空氣中顆粒物濃度（如0.3μm、0.5μm粒徑），符合ISO14644標(biāo)準(zhǔn)。
2.壓差計/溫濕度傳感器
-監(jiān)測環(huán)境參數(shù)并聯(lián)動控制系統(tǒng)調(diào)整。
3.EMS（環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)）
-整合數(shù)據(jù)采集、報警及遠(yuǎn)程控制功能，確保環(huán)境參數(shù)穩(wěn)定。
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五、水與氣體處理系統(tǒng)
1.超純水系統(tǒng)（UPW）
-反滲透（RO）+EDI（電去離子）技術(shù)，用于清洗或生產(chǎn)用水。
2.高純氣體供應(yīng)
-氮氣、氬氣等特殊氣體需經(jīng)終端過濾器（0.01μm）凈化。
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六、消毒與滅菌設(shè)備
1.紫外燈/臭氧發(fā)生器
-對空氣和表面進(jìn)行滅菌，常用于生物實驗室或無菌車間。
2.VHP（汽化過氧化氫）滅菌系統(tǒng)
-適用于高潔凈度區(qū)域的深度滅菌。
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選型與維護(hù)關(guān)鍵點
-潔凈等級匹配：根據(jù)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（如ISO14644、GMP）選擇設(shè)備規(guī)格（如換氣次數(shù)、過濾器等級）。
-能耗優(yōu)化：采用變頻風(fēng)機(jī)、熱回收系統(tǒng)降低運營成本。
-維護(hù)計劃：定期更換過濾器（初效1-3月，高效1-3年）、清潔風(fēng)道、校準(zhǔn)傳感器。
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通過合理配置上述設(shè)備，無塵凈化車間可實現(xiàn)從百級到十萬級的潔凈度要求，滿足不同產(chǎn)業(yè)的精密生產(chǎn)需求。具體方案需結(jié)合工藝特點、空間布局及預(yù)算綜合設(shè)計。
