凈化無塵車間(又稱潔凈室)是需要在特定環(huán)境中控制微粒、溫度、濕度、氣壓等參數(shù)以滿足生產工藝要求的場所,廣泛應用于電子、半導體、醫(yī)藥、生物技術、精密制造、醫(yī)療等領域。以下是凈化無塵車間的核心要求:
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1.空氣潔凈度等級
-按國際標準分類:遵循ISO14644-1或國內標準(如GB50073),潔凈度等級以每立方米空氣中≥0.1μm或≥0.5μm的顆粒數(shù)劃分(如ISOClass5、Class1000等)。
-ISOClass1~5級:超高標準(如芯片制造)。
-ISOClass6~9級:一般工業(yè)或醫(yī)療用途。
-行業(yè)特殊標準:例如醫(yī)藥行業(yè)的GMP(A/B/C/D級)、醫(yī)療手術室的潔凈度要求等。
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2.空氣循環(huán)與過濾系統(tǒng)
-高效過濾:采用初效、中效、高效(HEPA)或超高效(ULPA)過濾器,過濾效率需≥99.97%(對0.3μm顆粒)。
-氣流組織:
-單向流(層流):適用于高潔凈區(qū)域(如手術室、芯片生產線),氣流方向單一且均勻。
-非單向流(紊流):通過稀釋效應降低污染物濃度,適用于較低潔凈等級區(qū)域。
-換氣次數(shù):根據(jù)潔凈度等級調整(如ISOClass5級換氣次數(shù)約300-400次/小時)。
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3.溫濕度控制
-溫度:通常為22±2℃,特殊工藝(如精密儀器)需更高精度(±0.5℃)。
-濕度:一般控制在45%~65%,防止靜電或微生物滋生;半導體行業(yè)可能需更低濕度(如30%~50%)。
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4.壓差控制
-梯度壓差:確保潔凈區(qū)對非潔凈區(qū)保持正壓(防止污染侵入),如核心區(qū)>緩沖區(qū)>普通區(qū)。
-壓差范圍:5~20Pa。
-監(jiān)控:安裝壓差傳感器并實時報警。
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5.人員與物料凈化流程
-人員凈化:
-穿戴無塵服、口罩、手套、鞋套,經過風淋室(風速≥20m/s,吹淋時間15~30秒)。
-限制人員數(shù)量和活動范圍,培訓無塵操作規(guī)范。
-物料凈化:
-物料通過傳遞窗(帶紫外線殺菌)或氣閘室進入,表面清潔處理。
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6.建筑與裝修要求
-材料:墻面、地面、天花板需光滑、無死角、耐腐蝕(如環(huán)氧樹脂地坪、彩鋼板墻面)。
-密閉性:門窗、管線接口嚴密,避免漏風或積塵。
-防靜電設計:地面采用導電材料,設備接地(靜電敏感區(qū)域要求表面電阻≤10^6Ω)。
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7.污染源控制
-設備與工具:選擇低發(fā)塵材料(不銹鋼、特氟龍),減少機械摩擦。
-清潔消毒:定期清潔(無塵布+酒精/去離子水),醫(yī)藥車間需滅菌處理(紫外線、臭氧或過氧化氫)。
-廢料處理:設置專用出口,避免交叉污染。
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8.監(jiān)測與維護
-在線監(jiān)測:實時監(jiān)控顆粒物(激光粒子計數(shù)器)、溫濕度、壓差等參數(shù)。
-定期檢測:
-高效過濾器完整性測試(PAO檢漏)。
-微生物檢測(浮游菌、沉降菌)。
-風速與換氣次數(shù)驗證。
-記錄與驗證:符合GMP或ISO體系要求,定期再認證。
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9.特殊行業(yè)附加要求
-醫(yī)藥/醫(yī)療:符合GMP規(guī)范,設置A級層流罩、B級背景區(qū),驗證滅菌流程。
-食品行業(yè):側重微生物控制,防止交叉污染。
-半導體行業(yè):防靜電、防振動,控制AMC(氣態(tài)分子污染物)。
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10.其他要求
-照明:充足均勻,照度通常300~500Lux,避免死角。
-噪聲:≤65dB(A),特殊區(qū)域要求更低。
-節(jié)能設計:優(yōu)化空調系統(tǒng)能耗(變頻控制、熱回收)。
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通過嚴格滿足以上要求,凈化無塵車間可確保生產環(huán)境穩(wěn)定、產品質量可靠,并符合行業(yè)法規(guī)與標準。實際設計和施工需根據(jù)具體工藝需求與現(xiàn)場條件進行調整。